교육과학기술부는 21세기프론티어 나노메카트로닉스기술개발사업단의 지원을 받은 이재종박사(50, 한국기계연구원)팀이 ‘30나노미터급 다층 나노임프린트 장비’를 개발하는데 성공했다고 밝혔다.
나노 임프린트 기술이란 자외선이나 열을 이용하여 나노미터 크기의 패턴을 유연한 플라스틱 소재 등에 옮겨 나노소자를 만드는 기술을 말한다.
나노소자는 반도체, 하드디스크 등 정밀소자 뿐만 아니라 LED, 광통신소자, 태양광전지, 바이오칩에 이르기까지 산업계에 광범위하게 사용된다.
나노 소자를 만들기 위해 전자빔을 이용해 나노패턴을 하나하나 새기는 기술과 사진인화기술과 유사한 사진석판기술이 사용되어 왔으나, 각각 생산속도가 느리고 고가라는 단점이 있었다.
이 박사팀은 나노소자를 만드는 또 다른 방법인 ‘나노 임프린트’ 기술을 집중적으로 연구했다.
일종의 도장을 찍어내는 방법인 나노임프린트 기술은 나노패턴이 새겨진 스탬프의 패턴을 유연소재에 눌러 찍은 후 자외선이나 열을 가해 빠르고 낮은 단가로 나노패턴을 형성한다.
이 기술의 핵심은 나노패턴을 넓은 면적에 여러 층으로 구성하되 층간의 정렬오차범위를 최소화하는 것인데, 이 박사팀은 30나노미터급의 나노패턴을 직경 6인치 이상의 면적에 층간 정렬오차를 10나노미터까지 줄였다.
이정도 면적과 오차범위는 세계 최고수준으로 관련 산업계의 적용가능성을 높일 수 있다.
이 박사는 “이번에 개발한 다층 나노임프린트 장비는 수 나노미터급의 정밀도를 바탕으로 대면적 나노패터닝을 가능케한 핵심원천기술의 집합체로 향후 관련 산업계에 큰 파급효과를 기대할 수 있다”고 연구의 의의를 밝혔다.
개발된 기술은 연구 참여기업과 기술이전계약을 체결하였으며, 최근 5년간 17건의 특허를 등록하고, 19건의 특허를 출원했다. [데일리경제]
경제일간 - 데일리경제 www.kdpress.co.kr <저작권자 ⓒ데일리경제. 무단전재/재배포 금지>
